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Wafer Transfer Manual

功能概述：
1.设备自动完成多种规格CAST内转移晶圆；
规格总结 ﹕
1. 设备尺寸：1000mm*690mm*1650mm
2. 设备安装面离地面高度850mm

3.气压： 0.5~0.7MPa

设备特点：

• 洁净等级 Class1
• 模块化设计，维护成本低
• 设备结构紧凑，占地面积小

产品详情

设备自动完成多种规格CAST内转移晶园Wafe（尺寸、数量可定制)，广泛应用于半导体行业

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