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Stocker由标准存储架单元拼接而成，可根据客户要求进行自由组合
规格：L(10500mm) x W(1800mm) x H（2840mm)
存储数量：5200 EA
无尘等级：ISO Class1
存储方式: Bare Mask storage
规格总结﹕
1.整机尺寸：L(10500mm) x W(1800mm) x H（2840mm)
2.存储数量：5200 EA
3.无尘等级：ISO Class1
4.存储方式: Bare Mask storage
设备特点：
Stocker由标准存储架单元拼接而成，可根据客户要求进行自由组合;
存储位reader和顶部FFU也可以根据客户需求进行选配；
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